窒化タンタル

窒化タンタル
別称 Tantalum mononitride
識別情報
CAS登録番号	12033-62-4
PubChem	83832
EC番号	234-788-4
SMILES N#[Ta]
InChI InChI=1S/N.Ta
特性
化学式	TaN
モル質量	194.955 g/mol
外観	黒色結晶
密度	14.3 g/cm3
融点	3090 °C, 3363 K, 5594 °F
水への溶解度	不溶
構造
結晶構造	六方晶, hP6
空間群	P-62m, No. 189
危険性
EU Index	Not listed
引火点	不燃
関連する物質
その他の陽イオン	窒化バナジウム(III) 窒化ニオブ
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。

窒化タンタル（ちっかタンタル、Tantalum nitride）は、タンタルの窒化物である。銅やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、集積回路の製造の際に、薄膜抵抗器等として、シリコンウェハーの上に沈着される^[1]。

脚注